Shalem Sarahi Ramírez Vega; Artículo DIMAT-CA-CM-0368
Los Sistemas Microelectromecánicos (MEMS por Micro Electro-Mechanical Systems), también conocidos como Sistemas Micro Maquinados, Micro Máquinas o micro fabricados, se refieren a los sistemas en pequeña escala que utilizan componentes mecánicos, pueden incluir también componentes electrónicos.
Los MEMS son dispositivos fabricados a microescala en un proceso por lotes (circuitos integrados y microestructuras) que convierten una señal mecánica o bilógica en eléctrica y viceversa. Puede ser usado como una plantilla para la formación de microestructuras en otros materiales como: metales, materiales cerámicos, plásticos, etcétera.
